推荐配置
WDI MIC 3/4 -ATF 6 CM-T,LLC 4/6/8
WDI 自动聚焦—适用表面聚焦及分层聚焦
Z轴精度—0.165 μm/step
YAG Mirror—(266)/355/532/1064 nm
OA—可选
案例分析
MIC User's Guide 1