产品详情
光刻（引导及检测）
- 推荐配置
MMS ATF4 PZ-PI ZAA 自动对焦模块
自动聚焦—适用于镜面样品 自动对焦模块
Z轴精度—30 nm/step （PI压电马达）
建议物镜—20/50/100X 物镜
产品详情
光刻（引导及检测）
发布时间 : 2025-05-15 09:07
推荐配置
MMS ATF4 PZ-PI ZAA
自动聚焦—适用于镜面样品
Z轴精度—30 nm/step （PI压电马达）
建议物镜—20/50/100X 物镜
案例分析
WDI ATF4 光刻 20X
WDI ATF4 50X
