产品详情
  • 光刻(引导及检测)

  • 推荐配置 MMS ATF4 PZ-PI ZAA 自动对焦模块 自动聚焦—适用于镜面样品 自动对焦模块 Z轴精度—30 nm/step (PI压电马达) 建议物镜—20/50/100X 物镜
  • 光刻(引导及检测)

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光刻(引导及检测)

发布时间 : 2024-05-03 00:09
推荐配置
MMS ATF4 PZ-PI ZAA

自动聚焦—适用于镜面样品
Z轴精度—30 nm/step (PI压电马达)

建议物镜—20/50/100X 物镜




案例分析



WDI ATF4 光刻 20X


WDI ATF4 50X